庫容式地膜真空計(jì)的作業(yè)原理圖
依據(jù)彈性地膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)急而導(dǎo)致庫容變遷的原理制成的真空計(jì)稱為庫容式地膜真空計(jì)，它由庫容式地膜規(guī)管(又稱為庫容式壓力傳感器)和測量儀器兩全體組成。依據(jù)測量庫容的相反步驟，儀器構(gòu)造有偏位法和零位法兩種。零位法是一種彌補(bǔ)法，存在較高的測量精度。眼前在計(jì)量單位作為低真空副規(guī)范真空計(jì)的就是采納零位法構(gòu)造。
圖20零位法地膜真空計(jì)的構(gòu)造原理圖
圖20示出了零位法庫容式地膜真空計(jì)的構(gòu)造原理圖。它由庫容式地膜規(guī)管、測量電橋通路、直流彌補(bǔ)電源、廣播段振蕩器、廣播段放大器、相敏檢波器和批示量具等組成。
庫容式地膜規(guī)管的旁邊裝著一張非金屬彈性膜片，在膜片的一側(cè)裝有一個(gè)生動電極，當(dāng)膜片兩側(cè)的壓差為零時(shí)，生動電極與膜片構(gòu)成一個(gè)動態(tài)庫容C0，它與庫容C1串聯(lián)后作為測量電橋的一條橋臂，庫容C2、C3和C4與C5的串聯(lián)庫容組成其它三條橋臂。
非金屬彈性膜片將地膜真空規(guī)管隔離成兩個(gè)室，別離為接被測真空零碎的測量室和接高真空零碎(pb<10-3Pa)的參考壓力室。在這兩個(gè)室的連通彈道上設(shè)置一個(gè)高真空閥門7。測量時(shí)，先將閥門7翻開，用高真空抽氣零碎將規(guī)管內(nèi)膜片兩側(cè)的空間抽至參考壓力pb。同聲調(diào)節(jié)測量電橋通路，使之失調(diào)，即批示量具指零。而后，開放閥門7，測量室接通被測真空零碎。當(dāng)被測壓力Pl>Pb時(shí)，因?yàn)橐?guī)管中的壓力差p1-pb，膜片產(chǎn)生應(yīng)急導(dǎo)致庫容C0改觀，毀壞了測量電橋通路的失調(diào)，批示量具上亦有相應(yīng)的批示。調(diào)節(jié)直流彌補(bǔ)電源電壓對庫容C0充氣，使其靜風(fēng)力與壓差相當(dāng)，此時(shí)，電橋通路從新達(dá)成失調(diào)，批示量具又從新指零。依據(jù)彌補(bǔ)電壓的大小，就能得出被測壓力p1，故有
p1-pb=KU2(12)
式中p1——被測壓力
pb——參考壓力
U——彌補(bǔ)電壓
K——規(guī)管常數(shù)，其值K=Co/d0,Co和d0別離為生動電極與膜片在失調(diào)狀態(tài)下的動態(tài)庫容和間距。
當(dāng)p1》p0時(shí)，測量后果就是相對壓力，即
p1=KU2(13)
庫容式地膜真空計(jì)測量規(guī)模為10-1～101Pa，其規(guī)管常數(shù)K可經(jīng)過校準(zhǔn)失去。
近年來，庫容式地膜真空計(jì)獲得了重大停頓，新型的雙庫容式地膜真空計(jì)的問世，普及了該類真空計(jì)的精度，擴(kuò)大了測量規(guī)模，使其測量上限可達(dá)lO-3Pa。
單側(cè)雙庫容地膜真空計(jì)存在銳敏度高、氣體的介電常數(shù)一成不變、壓力讀數(shù)徹底不受氣體成份莫須有、反響進(jìn)度快等特點(diǎn)。如將其規(guī)管參考室內(nèi)加置消氣劑并抽至≤lO-5Pa，就可測量≥lO-3pa的相對壓力。與真空規(guī)管有關(guān)的篇章：真空計(jì)的相反總結(jié)真空計(jì)的壓力測量規(guī)模和特點(diǎn)以及真空計(jì)選用準(zhǔn)則U型管真空計(jì)的類型與測量原理彈性元件真空計(jì)的構(gòu)造與測量原理壓縮式真空計(jì)(麥?zhǔn)嫌?jì))的作業(yè)原理熱傳播真空計(jì)的作業(yè)原理圖熱負(fù)極水解真空計(jì)的作業(yè)原理與總結(jié)庫容式地膜真空計(jì)的作業(yè)原理圖噴射性水解真空計(jì)的作業(yè)原理圖磁浮旋子真空計(jì)作業(yè)原理圖
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